探針接觸式輪廓儀系統(tǒng)采用掃描探針顯微鏡光學(xué)杠桿位移檢測技術(shù)和超平基準(zhǔn)面大樣品臺掃描技術(shù)，與壓電陶瓷（PZT）掃描結(jié)合。在不損失精度的情況下，可以獲得超大樣本的整體三維輪廓，呈現(xiàn)局部三維形狀圖像。采用超高平整度光學(xué)拋光平臺掃描樣品臺參考平面，有效解決絲杠公差導(dǎo)致的測試結(jié)果亞微米誤差。

　　1、探針接觸式輪廓儀與掃描探針顯微鏡的結(jié)合。

　　2、雙模式操作（掃描和樣品臺掃描）即使在遠(yuǎn)距離測量中也可以獲得*佳的小區(qū)域3D映射。

　　3、3D形貌測量在干涉級提供亞納米分辨率。

　　4、在任何物鏡放大倍數(shù)下都保證亞納米垂直分辨率。

　　5、多種物鏡可選，包括長工作距離物鏡、玻璃校正物鏡、水鏡、油鏡等

　　6、多環(huán)境測量，包括真空、大氣、液體、透光窗、溫濕度可控環(huán)境等。

　　探針接觸式輪廓儀提供可重復(fù)、可靠和準(zhǔn)確的測量：從傳統(tǒng)的臺階高度測量和二維粗糙度的表面表征到先進(jìn)的三維形態(tài)和薄膜應(yīng)力分析，已被廣泛接受為測量薄膜厚度、應(yīng)力、表面粗糙度和形貌的黃金標(biāo)準(zhǔn)，并已應(yīng)用于從學(xué)術(shù)研究到半導(dǎo)體過程控制的各個(gè)領(lǐng)域。

　　探針輪廓儀使用在表面上移動(dòng)通過感測針的高度和波動(dòng)來確定表面輪廓。探針輪廓儀可以測量高達(dá)LMM的高度。該輪廓儀的工作原理類似于留聲機(jī)。通常，被測表面在探頭下方移動(dòng)，但探頭也可能在表面上移動(dòng)。探頭的垂直運(yùn)動(dòng)由線性變化的差動(dòng)變壓器（LVDT）測量，然后將測量信號轉(zhuǎn)換為高度數(shù)據(jù)。探頭由硬質(zhì)材料制成，例如金剛石。曲率半徑在0.05μm和50μm之間，這決定了儀器的橫向分辨率。